該系統是針對SPM的專業研究應用所研發的。采用自制杜瓦型低溫恒溫器，可獲得5K的低溫，制冷劑利用效率高。特殊設計的掃描探頭結構緊湊、體積小巧，具有極好的機械和溫度穩定性。兼容目前主流商業化樣品架，可原位更換針尖、樣品和沉積分子/原子。集成了基于tuning fork技術的AFM，可在STM和AFM兩種模式下工作。

系統同時集成了專業的MBE腔體和獨立的樣品處理腔，具有液氮的冷屏和多達7個蒸發源安裝位置，可以通過RHEED和LEED等手段監控生長。尚在研發中，主要技術指標待測。